HG/T 4509-2013.High purity hydrofluoric acid for industrial use.
1范围
HG/T 4509规定了工业高纯氨氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签,包装、运输和贮存及安全
HG/T 4509适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗.蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190危险货物包装标志.
GB/T 191-2008包装储运图示标志
GB/T 6678化工产品采样总则
GB/T 6680液体化工产品采样通则
GB/T 6682- 2008 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 8170数值修 约规则与极限数值的表示和判定
HG/T 3696.1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分:标准滴定溶液的制备
HG/T 3696.2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分:杂质标准溶液的制备
HG/T 3696.3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分:制剂及制品的制备
3分子式和相对分子质量
分子式:HF
相对分子质量:20.01(按2011年国际相对原子质量)
4分级
工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。
EL级:主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造,以及作为生产其他高纯氟化物的原料;
UP级:主要用于线宽为0.8pm~1.2uro集成电路的清洗与蚀刻;
HG/T 4509-2013 工业高纯氢氟酸
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