SJ/T 10535-1994.Tungsten boat for semiconductor devices.
1主题内容与适用范围
1.1SJ/T 10535规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、 规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
1.2SJ/T 10535适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。
2引用标准
GB 3875钨板
GB 4181钨丝
GB 4196钨、钼条密度测定方法
GB 4342.1~30钨化学分析方法
3产品分类
3.1 钨舟牌号:以“钨”“舟”两安的汉语拼音字母wZO命名。
3.2 钨舟的型号:钨舟型号用“V”、“U"表示,其中每型号下的不同种类用I、II、III.....表
示,如V-I表示V型有压边,V- I表示无压边(见表1)。
3.3钨舟规格用数字表示如-03-15,其中03表示舟壁厚度,“15”表示舟宽。
3.4 钨舟牌号、型号、种类与规格示例:
5试验方法
5.1钨舟的化学成分4.1条按GB 4324.1~30中有关标准进行分析。
5.2钨舟的规格尺寸4.2条用精度为0.02mm和0.01mm的卡尺和千分尺进行测量。
5.3钨舟的密度4.3条按GB 4196进行测量。
5.4钨舟的重量(个)4.4条用感量为0.2g的天平进行称量。
5.5钨舟的熔点4.5条的测量,在钨舟化学成分合格的条件下可以不进行测量。
5.6钨舟的表面质量4.6条用目视进行检查。
6检验规则
6.1检验批
检验批必须由同一成分、同--工艺、连续生产的同一种类的产品组成。
6.2交收检验
6.2.1产品应由供方检验部门，按本标准要求进行检验,保证产品符合本标准的要求。
6.2.2需方在收到产品之日起,两个月内按本标准进行验收,如果复验结果与本标准规定不符合时，由供需双方协商解决。
6.3抽样方案与判定规则
6.3.1化学成分的检验,在每一批料中随机抽取一个样品进行化学成分的分析,如不符合要求,另加倍取样进行分析,取其平均值,如仍不符合要求,则该批料为不合格。
SJ/T 10535-1994 半导体器件用钨舟
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