SJ/T 10626-1995 键合金丝中杂质元素的ICP-AES测定方法

SJ/T 10626-1995.Method for determining impurities in gold wire for semiconductor lead bonding by ICP-AES.
1主题内容与适用范围
1.1 主题内容
SJ/T 10626规定了电感耦合等离子体发射光谱对键合金丝中杂质元素的测定方法。
1.2适用范围
本标准适用于键合金丝中银、铜、钙、镁、锰、铁、铋、铅元素的测定。其测定范围:铅、铋为0.0008%~0.0500%，其余为0.0005~0.0500%。
2方法原理概要
本方法采用王水溶解试样,挥发除去大部分酸后,加入过氧化氢,在水浴中加热使金沉淀析出,离心分离后,上层清液引入等离子体,按表1所列各元素分析线波长进行其杂质元素含量的测定。
3试剂
3.1无水乙醇:优级纯。
3.2丙酮:分析纯。
3.3过氧化氢:M0S纯。
3.4 电子级水:EV- II级。
3.5硝酸(1+1):采用MOS纯硝酸配制。.
3.6盐酸(1 + 1);采用MOS纯盐酸配制。
3.7盐酸(1+10)):采用MOS纯盐酸配制。
3.8稀王水(硝酸:盐酸:水=1:3:4:采用MOS纯硝酸和盐酸配制。
3.9清洗剂:按乙醇:丙酮=1:4的比例配制。
3.10标准溶液:
3.10.1银标准贮存溶液
称1.000g纯银粉(99.95%以上),加入25ml硝酸(见3.5),加热溶解完全后,继续加热以除去氮的氧化物。冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,以水(见3.4)定容,混匀。此溶液1mL含1mg银。
3.10.2铜标准贮存溶液
称取1. 2518g预先在105~110C千燥至恒重的氧化铜(99.99%以上),低温加热溶于30mL盐酸(见3.6)中,加入20ml水(见3.4),加热溶解,冷却至室温,移入1000ml容量瓶中,用水(见3.4)定容,混匀。此溶液1ml含1mg铜。

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